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2025年

東京エレクトロン

マテリアルズ・インフォマティクス(MI)とプロセスインフォマティクス(PI)を活用し、半導体製造装置の開発・立ち上げ期間を短縮。2027年夏完成予定の宮城新棟でAI・ロボットを先行導入し、生産能力3倍・年間約100億円のコスト削減を目指す。

企業規模大企業(1,000名〜)
地域日本
導入段階部門導入
使用ツールマテリアルズ・インフォマティクス(MI)、プロセスインフォマティクス(PI)、自己診断AI

背景・課題

AI半導体需要の急拡大に伴い、半導体製造装置の供給体制強化が急務。装置開発・立ち上げの期間短縮と生産効率の飛躍的向上が求められていた。

取り組み内容

MI・PIを活用した新装置開発の効率化に加え、センサーデータを使った装置の自己診断機能、ロボットによる生産自動化を推進。ソフトウェア開発はTELデジタルデザインスクエア(札幌市)で集中的に実施。

成果・効果

生産能力3倍、年間約100億円コスト削減目標

2027年夏完成予定の東京エレクトロン宮城新棟でAI・ロボット技術を先行導入予定。将来的に装置生産能力を3倍に拡大し、年間約100億円のコスト削減効果を目指す。岩手新製造棟(2026年稼働)で成膜装置生産能力を最大1.5倍に増強。

教訓・ポイント

MI・PIの活用により、材料科学とプロセス工学の知見をAIで統合し、開発サイクルを大幅に短縮できる。生産のAI化は新棟で先行導入し、成功事例を他拠点に横展開する段階的アプローチが有効。

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